アルミナ セラミック
アルミナは電気絶縁性が高く、耐摩耗性、化学的安定性もある割に比較的安価で、 ファインセラミックスの代名詞的な材質です。
アスザックでは、高純度、高性能な各種グレードのアルミナセラミックスを取り揃えています。 アルミナ板のネット販売もしております。（http://www.asuzac-ceramics.jp/shop/shopenter.htm） アルミナは、半導体製造装置や液晶製造装置などのチャンバー内部品や搬送アームに使用されています。 アルミナは、電気絶縁性(1015Ωcm)が高いのでチャンバー内での絶縁部品として、搬送アームは金属や樹脂と比べて曲げ強度があることから反りが発生しにくいためアーム自体を薄くできます。 こんな使い方はいかがでしょうか→ 大型アルミナ（3m以上の製品も可）や空洞セラミックス化（接着剤無しでのトンネル形状）が可能なので、半導体Φ450ウエハ製造装置や液晶G10ガラス基板製造装置などでの大型セラミックスも対応できます。
- 企業：アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部
- 価格：応相談
