インジケータ『PLAZMARK Arクリーニング用』<カード型>
イオン性のプラズマ検知に最適化!気になる箇所に手軽に設置できるカード型
『PLAZMARK Arクリーニング用』は、O2クリーニング用では 検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できる カード型のインジケータです。 ArやHeなど、O2クリーニング用では検知しにくい イオン性のプラズマを効率よく検知可能。 ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの 混合系では、O2クリーニング用のほうが適しています。 【特長】 ■イオン性のプラズマ検知に最適化したインジケータ ■目的に合わせてお選びいただける3形状 ■半導体の後工程など幅広く使用可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社サクラクレパス PI事業部
- 価格:応相談