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エアスライダ×株式会社関ケ原製作所 - 企業1社の製品一覧

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石製 エアースライダー

様々な仕様に対応できる豊富なバリエーションで高精度なエアースライダーをご提供!

当社は、半導体、液晶検査装置及び製造装置に必要とされる 高精度な走行位置決めにも対応できる『石製エアースライダー』を ご提供しております。 豊富なバリエーションにより様々な仕様に対応し、 仕様によっては石材とセラミック材の組み合わせが可能です。 また、当社では5000mmを超える大ストロークのスライダーも 製作可能ですので、ご要望の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■1μm/1000mmの高い真直性を発揮 ■ニューマチックハンマーを起こしにくい独自の軸受を採用 ■石製なので経年変化がほとんど生じず、恒久的に精度維持を実現 ■1t以上の高負荷容量に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

  • 半導体検査/試験装置
  • その他半導体製造装置

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