エキシマUVシステム
独自の高エネルギーUVエキシマレーザ！高性能モバイルディスプレイと同じ実現技術を採用
50年にわたるUVレーザと光学システムの経験から、当社はエキシマレーザ ビームの管理、形成、集束に関する課題に精通しています。 長寿命のレーザ、オプティクス、構造によりリスクを回避し、24時間365日 動作可能。高性能モバイルディスプレイと同じ実現技術を採用しています。 また、垂直統合を活用し、厳しい基準に合わせてシステム全体の設計、 製造、組み立てを行っています。 【特長】 ■垂直統合 ■実績のある産業用ツール ■193nm、248nm、308nmシステムと、カスタム157または 351nmオプションから選択可能 ■独自の高エネルギーUVエキシマレーザを、LTPS、LLO、LIFT、PLD、 LA-ICP-MSなどに対して構成された完全な光学システムで最大限に活用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：コヒレント・ジャパン株式会社 本社、大阪支店、厚木TEC
- 価格：応相談
