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電子部品の実装後の剥がれ防止、密着性など品質向上！大学・研究・開発でご活用いただけます
『エキシマランプ』とは、一般的な放電灯（水銀ランプやキセノンランプ等） と異なる発光原理、構造で、真空紫外光を照射できる光源です。 低温過程で表面処理が可能。ドライ洗浄改質等には不要な可視光、赤外光が 比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。 また、水銀ランプ（波長185nmと254nm）に比べるとフォトンエネルギーが高い 波長172nmの真空紫外光（VUV）を発生します。 【特長】 ■準単色光 ■低温過程で表面処理が可能 ■波長172nmのエキシマ光を発光 ■瞬時点灯点滅 ■電子部品の実装後の剥がれ防止、密着性など品質向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非熱過程で分子の結合を切断することが可能！半導体関連分野での応用についてご紹介
当資料では、「真空紫外エキシマランプ」の現状とその産業的応用について ご紹介しております。 エキシマとは励起状態の原子または分子1個と基底状態の原子または分子1個が 会合した二量体の総称。 「真空紫外エキシマランプ」は、準単色光、一般的なランプにない短波長の 光を発光できる、瞬時点灯点滅が可能、などの特長を有しています。 また、真空紫外光は短波長で光子エネルギーが高いため、非熱過程で分子の 結合を切断することができます。 【掲載内容】 ■真空紫外エキシマランプとは ■真空紫外エキシマランプの応用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な産業分野への応用が可能！
真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理法には「安価」 「大面積処理が容易」などの特色があります。 その為、光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な 産業分野への応用が可能です。 当資料では、光表面処理法の効果を原子間力顕微鏡（AFM）を用いて 調べた結果をご紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに ■実験 ■結果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
波長172nmの真空紫外光をポリエチレンシートに照射！表面の改質について実験
1980年代後半に、誘電体バリア放電を利用した強力な真空紫外光源である キセノンエキシマランプが開発されました。 この光源で得られる波長172nmの光は、7.2eVという高いエネルギーを持ち、 様々な分子内結合を効率よく光解離が可能。 このため、ランプは液晶表示パネルに使われるガラス基板の精密光洗浄などに 実用化されているのを始め、様々な応用展開が図られています。 本研究では、汎用樹脂であるが、印刷性・接着性が低いポリエチレンに、 真空紫外光を照射した際の、表面の物理･化学的変化について検討を行い ました。 【掲載内容】 ■はじめに ■実験 ■結果および考察 ■まとめ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
