広域ウェットエッチング製造向けエッチングシミュレータ
エッチング製造仕上がり計算と自動補正を行う双方向シミュレータ。パネルサイズのエッチング現象を高速計算し、製造歩留まり改善を実現
１．エッチング現象を時間変化（dt）で計算する高速エッチングシミュレータ ２．製造仕上がり形状計算と補正データ生成を行う双方向シミュレータ。補正データの生成／検証をサポート。 他社補正データを使った製造仕上がり計算にも対応 ３．16GBのメモリでパネルサイズ（500mmx600mm）の広域計算を実現 ４．レジスト分布からエッチング圧を2.5次元的にみて計算するため、レジストギャップが大きく変わる場所の変化、 凹凸部のえぐれや角だし等の変化量を自動計算。変化度合いはパラメータで調整することが可能 ５．計算ステップが進行して補正データ間が異常接近するときは補正計算を部分的に自動停止。指定されたDRC値に 違反しない補正データを自動生成 ６．DXF、Gerber、ODB++、GDSIIなどのCADデータ入出力入出力。CADデータの相互変換にも対応 ７．簡単操作で高品質な計算結果を実現
- 企業：株式会社Oscillated Recall Technology
- 価格：100万円 ~ 500万円
