Isolast (イソラスト) PureFab（R） FFKM
先進の半導体製造プロセスの稼働時間を最大化
過酷な半導体製造プロセス向けに開発したIsolast(イソラスト) PureFabは、最高レベルの純度を実現したシール材料です。 トレルボルグシーリングソリューションズは、過酷な半導体製造プロセス向けにIsolast （イソラスト）PureFabシリーズ最高レベルの材料を開発しました。これらのパーフロロエラストマー(FFKM)材料を使用することで、半導体製造プロセスの歩留まりを向上させ、プロセスの不具合を減少させることができます。その結果、ダウンタイムの短縮、メンテナンスサイクルの延長、プロセスツールの稼働時間が向上し、トータル・コスト・オブ・オーナーシップ(TCO)を改善します。 優れた機械的特性を持つ「PureFab」の半導体材料はすべて、耐プラズマ性、アウトガス性、熱安定性を損なうことなく、最高レベルの純度を実現しています。各材料は、個々のグレードで、最高レベルの特性を発揮します
- 企業：日本トレルボルグ シーリング ソリューションズ株式会社
- 価格：応相談
