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新たにDUVをサポート。小型でコストパフォーマンスに優れています
当社では、EllipsoTechnology社製の分光エリプソメータシステムを 取り扱っております。 操作しやすいソフトウェアで、導入しやすい低価格。 また、豊富なオプション(自動ステージ、オートアングル、オートフォーカス＆ オートチルト)、さらにウェハーマッピングに対応しております。 無償及び有償サンプル測定を行っておりますので、お問い合わせください。 【特長】 ■コンパクト ■DUV への対応 ■豊富なサポート体制 ■各種カスタマイズに対応 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
4ディテクターを用いた新しい測定法式で可動部分が無いため、システムの信頼性が向上
当社では、ガートナ社製の自動エリプソメータシステムを取り扱っております。 Sシリーズは、従来より超高速測定が可能になり、変化の早い物質測定が可能。 また、LMシリーズは、Sシリーズにオートフォーカス及びオートチルトを 標準で装備しており、更に高精度＆高再現性を実現し、高い信頼性を実現。 本システムは、ストークス法の測定方法と各種測定タイプをご用意しております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■Sシリーズ：最大3波長まで搭載可能 ■LMシリーズ：最大300mmまで対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
