4ディテクターを用いた新しい測定法式で可動部分が無いため、システムの信頼性が向上
当社では、ガートナ社製の自動エリプソメータシステムを取り扱っております。 Sシリーズは、従来より超高速測定が可能になり、変化の早い物質測定が可能。 また、LMシリーズは、Sシリーズにオートフォーカス及びオートチルトを 標準で装備しており、更に高精度＆高再現性を実現し、高い信頼性を実現。 本システムは、ストークス法の測定方法と各種測定タイプをご用意しております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■Sシリーズ：最大3波長まで搭載可能 ■LMシリーズ：最大300mmまで対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【オプション】 ■マイクロスポット ■干渉計 ■オートフォーカス＆オートチルト ■ウェハー搬送機 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、光学測定器専門の技術系輸入商社です。 設立以来、光学＆測定器一筋に長年にわたり営業しております。 輸入が中心ですが国内開発も行っております。 少数精鋭では有りますが、これからも販売はもちろんですが、 サービス&サポートをより一層充実して参ります。サンプルデモ及び デモンストレーションは随時行っておりますのでご用命ください。