UVオゾンアッシング装置
【UV照射、高濃度オゾン、温度加熱】 それぞれの要素の相乗効果が期待できる乾式洗浄装置！ランニングコストが安く経済的！
UV照射、高濃度オゾン、温度加熱の相乗効果が期待できる乾式洗浄装置です。UVランプは長寿命と低価格のため、ランニングコストが安く経済的です。 【特長】 ■UV照射、高濃度オゾン、温度加熱の相乗効果が期待できる乾式洗浄装置 ■UVランプは長寿命と低価格のため、ランニングコストが安く経済的 ■オゾン濃度制御が可能 ■ｌＲヒーターによる基板加熱のため、洗浄反応効率をアップ ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
- 企業：クリーン・テクノロジー株式会社
- 価格：応相談
