小型オゾン分解装置
紫外線照射装置やエキシマ洗浄装置、プラズマ洗浄装置の使用時に発生するオゾンの分解装置をスタンドアローンで低価格を実現。
・本装置一台でオゾンを分解でき、排気ダクトへの接続など面倒な作業が不要。 ・高濃度オゾン除去用に開発されたハニカムオゾンフィルターを採用。 ・分解率を向上させた反応型触媒タイプのため、劣化が少なく、寿命の長いフィルターです。 ・不燃タイプですので、安心してご使用頂けます。 ・コンパクトで、設置場所に困りません。 ・独自設計による高性能ハニカム触媒を使用し、短納期を実現しました。
- 企業:株式会社あすみ技研
- 価格:応相談