ガラス状カーボンコート「被覆層を形成する技術」
ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です
ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。 この技術により、半導体製造装置用部品にコーティングすることで、部品からのパーティクル発生を抑えることができます。 【特徴】 ・黒鉛材料のダスト発生を抑えます。 ・黒鉛材料表面だけでなく内部まで浸透しています。 ・黒鉛材料からのガスの発生を抑えます。 ・黒鉛材料のガス透過を抑えます。 ・黒鉛材料の様々な形状への対応が可能です。 ・金属、ガラスとの反応性を抑えます。 ※詳しくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社渡辺商行
- 価格：応相談
