ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」
ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。
ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。 これらの優れた特徴から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。 【ガラス状カーボン共通の特徴】 ・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵 ・気体・液体の不透過性 ・高純度 (製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能) ・高耐熱性、X線高透過性 【ガラス状カーボンビーズの特徴】 ・滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用可能 ・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い ・気孔のない緻密な等方性組織 ・中心粒径100μm、200μm 【多孔質ガラス状カーボンの特徴】 ・ガラス状カーボンの特性に、さらに通気性、通液性を有する ・真空チャック用途などに使用実績あり ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください
- 企業：株式会社渡辺商行
- 価格：応相談
