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キャパシタンスゲージ×キヤノンアネルバ株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

キャパシタンスゲージの製品一覧

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キャパシタンスゲージ『M-342DG』

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト!外部環境から受ける影響を最小限に抑えました

キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■優れたゼロ点安定性 ■温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現 ■優れた対振動ノイズ性能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他半導体製造装置

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