キーダイオード×一般財団法人材料科学技術振興財団　MST - メーカー・企業と製品の一覧

【分析事例】SIMSによるSiC

イメージングSIMSにより、局在する元素の評価が可能です

市販のSiC Schottky diodeを解体し、素子パターンを含む40um角の領域で深さ0.5umまでイメージングSIMS測定を行い、ドーパント元素であるAlの濃度分布を評価しました。 イメージングSIMS測定後のデータ処理から、試料面内に局在するAlの深さ方向濃度分布を抽出し、パターン毎に濃度分布の比較を行った事例をご紹介します。

• 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
• 価格：応相談

• 受託解析