POWERシリーズ 高性能クライオポンプ(小型)
吸気口径8～12インチの小型タイプ！ヒータレスで安全な高速再生を実現しました
POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を 向上させた高性能型のクライオポンプです。 振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。 マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなる ことはなく、運転環境による起動時間の変化を最小限にしました。 【特長】 ■ヒータレスで安全な高速再生を実現 ■実用性に優れた起動特性と温度安定性 ■低振動 ■アルゴン排気容量の限界値ギリギリまで良好な排気性能を持続 ■冷凍能力を大幅にアップ、安定した水素排気性能を長時間持続 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- 価格：応相談
