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クリーンルーム(温度制御) - 企業3社の製品一覧

製品一覧

1~3 件を表示 / 全 3 件

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EB描画装置用 磁気シールドクリーンルーム

高性能な磁気シールドクリーンルームを保証します。

◆製品特長◆ ・クリーンルームと磁気シールド工事の一貫施工により、  高性能な磁気シールドクリーンルームを 提供 ・空調システムのユニット化及び磁気シールドパネルの組立方式により、  工事期間を従来の1/2に短縮 ・クリーンルームの再熱制御システムの開発により、精密な温度制御を実現すると共に  空調ランニングコストを低減します ◆空調、磁気シールド、ケミカルフィルターと複数の要素を全て自社製品で施工できる為、  納期・コスト面でお客様に満足を提供できます◆

  • その他環境機器

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省エネ型 高精度温湿調クリーンルーム

クリーンルームに高精度・温度・湿度環境を付加!

省エネ型高精度・温度・湿度調整クリーンルームは、電子・精密機器製造、食品・化学工業、病院などの生産・充填・検査・管理工程などに埃、ダスト管理はもちろん、温度・湿度までも高精度に管理した空間を手軽に提供します。クリーンルームに高精度・温度・湿度環境を付加。吹出口温湿度±0.1℃、±1.0%を実現しました。省エネルギー機器を採用、空調機廃熱を再利用。ヒータレス加湿器を採用しています。短工期での施工が可能です。配管工事、制御工事が不要な為、短工期で施工できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

  • その他クリーンルーム用機器・設備

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半導体製造用クリーンルーム

高精度環境を省エネルギー・省コストと両立させ超短工期で構築します!

「半導体製造用クリーンルーム」は、超微細精密加工を高い歩留で 実現するために、温度・湿度・清浄度(ガス状汚染質除去)・気流・ 微振動を高精度かつ安定的に制御することが必要です。 豊富な施工実績に基づき、設備システム・容量の最適化、製造ライン・ 生産付帯設備に踏み込んだ提案、脱ガス配慮設計技術、垂直立上げを実現する 施工管理手法などを駆使し、超短工期で高品質なクリーンルームを構築。 また、旋回流誘引型成層空調システム「SWIT(スウィット)」を用いた クリーンルーム「TCR-SWIT」では、少ない風量で作業域を従来と同じ 清浄度に維持できるため、クリーンルームの省エネルギー化も実現できます。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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