グラファイトヒータ(電気炉) - メーカー・企業と製品の一覧

【半導体成膜向け】グラファイトヒーター

半導体製造における成膜プロセスを支えるグラファイトヒーター

半導体業界の成膜プロセスでは、高品質な薄膜形成のために、精密な温度管理が不可欠です。特に、高温環境下での均一な温度分布と、高い耐久性が求められます。不適切な温度管理は、薄膜の品質低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社のグラファイト加工事例である高温炉・真空炉用ヒーター（エレメント）は、電気エネルギーを熱に変換し、炉内の温度を上昇させることで、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・CVD（化学気相成長） ・PVD（物理蒸着） ・ALD（原子層堆積） 【導入の効果】 ・均一な温度分布による高品質な成膜 ・高い耐久性による安定した稼働 ・オーダーメイド対応による最適なサイズと形状