ME-100 3次元実装用マニュアルタイプウエハケミカル洗浄装置
3次元実装用マニュアルタイプのウエハケミカル洗浄装置です！
処理枚数は1-3枚の少量対応の為、研究・実験の用途に最適です。 100V電源で設置に制約がありません。 コンパクトなので１ｍ2（平方メートル）あれば設置可能と経済的です。 純水リンスはカスケード方式による純水使用量を抑えた低コストです。 ケミカル温度をコントロールが可能です。 比抵抗計によりリンス効果を判断します。 ウエハカセットは傾斜を持たせ、ウエハ表面側に液残留を防止します。 将来、２槽（下部タンク共）追加可能なスペースを確保しています。 エアーガン付です。 シャワーノズルでケミカル槽を簡単洗浄出来ます。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：500万円 ~ 1000万円
