振子式コントロールバルブ SERIES 65.5
過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備(PC接続用とCPAソフトウェア用)
- 企業:VAT株式会社
- 価格:応相談
1~3 件を表示 / 全 3 件
過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備(PC接続用とCPAソフトウェア用)
シンプルなソリューションをお求めの方に!
-超高速動作 -ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア -遠隔操作用アナログ/デジタルインターフェイス
優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ
Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバルブとアングルバルブの組み合わせ。ベローズ軸シール付き。0.1MPaの差圧でバルブの開動作可能。 Series 95.2: コントロールバルブとゲートバルブの組み合わせ。O-リング軸シール付き。