【多目的真空蒸着装置】HEX用サンプルステージ
多目的真空蒸着装置HEXシステム用サンプルステージ | 固定、回転、回転加熱、回転水冷
多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のサンプルステージです。 正しいサンプルステージを選択することは、正しい成膜方法を選択することと同じくらい重要です。サンプルステージの特性は均一性やモルフォロジー、膜組成に影響を与えます。 HEXでは最大直径4インチのサンプル、HEX-Lでは最大直径6インチのサンプルに対応します。標準の固定サンプルステージの他に、回転、回転加熱、回転水冷サンプルステージが用意されています。
- 企業：テガサイエンス株式会社
- 価格：応相談
