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多目的真空蒸着装置HEXシステム用サンプルステージ | 固定、回転、回転加熱、回転水冷
多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のサンプルステージです。 正しいサンプルステージを選択することは、正しい成膜方法を選択することと同じくらい重要です。サンプルステージの特性は均一性やモルフォロジー、膜組成に影響を与えます。 HEXでは最大直径4インチのサンプル、HEX-Lでは最大直径6インチのサンプルに対応します。標準の固定サンプルステージの他に、回転、回転加熱、回転水冷サンプルステージが用意されています。
放射光XRDビームラインからラボ用XRD装置まで幅広く対応
アントンパールのIn-situ X線回折用サンプルステージは、既設/新設の放射光XRDビームラインやラボ用XRD装置本体に取り付けることができる業界トップシェアの高精度温度制御チャンバーです。 最低-190℃から最高2300℃の非常に幅広い温度範囲をカバーする豊富なラインナップがあり、温度、雰囲気、圧力を精密に制御することで実験目的に応じた最適な測定環境を提供します。 【特長】 ・業界トップシェアを誇る高精度の温度制御性能 ・-190℃から2300℃の幅広い温度範囲をカバーする豊富なラインナップ ・2軸回折計または4軸回折計に取り付け可能（適合するXRD装置の機種はお問い合わせください）
