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直線導入、回転導入など様々な要求に対応！各種シャッター機構のご紹介
日本シード研究所が取り扱う『各種シャッター機構』をご紹介します。 本機構は、成膜装置におけるカソードや基板をはじめ、ビューポートや 膜厚センサーなど広く利用されているシャッターです。 当社では、直線導入、回転導入など様々な要求に対応致します。 【使用例】 ■覗き窓シャッター M97-0072 ■基板シャッター N14-0040 ■基板シャッター N20-0010 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
隙間なくクローズ！蒸着物の回り込みや光を遮断する！
『KSVシリーズ』は、ICF-70用・CF-114用のシャッター機構です。 シャッター閉の時、隙間なく閉じる事が可能な、蒸着物等に対する ビューポート用の保護シャッターとなります。 RHEEDスクリーン、光、ビーム等の保護や遮断への応用も可能です。 また、回転導入部はマグネット駆動方式、半永久的に利用可能なほか、 各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域での使用が可能です。 その他のサイズでの製作も可能となりますので、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■シャッター閉の時、隙間なく閉じる事が可能 ■RHEEDスクリーン、光、ビーム等の保護や遮断に応用可能 ■超高真空領域での使用が可能 ■バタフライ方式のフルオープンタイプなので、広範囲の視界を確保 ■回転部のストッパーにより、任意のオープン確度で保持が可能 ■各種ビューポートに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
