直線導入、回転導入など様々な要求に対応!各種シャッター機構のご紹介
日本シード研究所が取り扱う『各種シャッター機構』をご紹介します。 本機構は、成膜装置におけるカソードや基板をはじめ、ビューポートや 膜厚センサーなど広く利用されているシャッターです。 当社では、直線導入、回転導入など様々な要求に対応致します。 【使用例】 ■覗き窓シャッター M97-0072 ■基板シャッター N14-0040 ■基板シャッター N20-0010 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■ビューポート ■基板シャッター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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