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センサー不要の圧力制御（荷重制御）でシンプル構造のZ軸ユニットが実現可能！
■シャフトモーターは、電流値と推力の関係がリニアリティーをもって再現されるため、圧力制御に最適な特長を有しています。 ■推力の分解能も高く、ワークの特性にあったシャフトモーターをお選び頂けます。 ■ユニット構成をパラレル駆動で構成しても、この特長が活かされるため、高い設計の自由度が獲得可能です。 ■当社では、ユニットの設計から製造までご提供可能です。 ※高精度だから可能なシャフトモーターの特性をご活用ください。
【SEMICON Japan出展】装置の高精度化や効率化に貢献するシャフトモーターの活用事例。製品のデモ動画も展示します
この度、当社では12月17日(水)から19日(金)まで開催されます 『SEMICON Japan2025』に出展する運びとなりました。 展示会では、半導体向け高精度シャフトモーターを多彩なデモで紹介。 真空対応モデルや高精度XY／UVWステージ、圧力制御Zユニット、マルチスライダーなど 最新技術を一挙公開。装置の高精度化・効率化に貢献する活用アイデアをご提案します。 【展示内容】 「シャフトモーターの基本ユニットと高精度事例」 「真空用シャフトモーター」 「高精度半導体用パラレルXYステージ」 「超高精度UVWアライメントステージ」 「圧力制御Zユニット」 「マルチ・スライダー・ドライブ」 皆さまのご来場を心よりお待ち申し上げております。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
2025年12月17日(水)〜19日(金)、東京ビッグサイトにて開催！
この度、当社では12月17日(水)から19日(金)まで開催されます 『SEMICON Japan2025』に出展する運びとなりました。 この展示会では、「シャフトモーターの高精度を半導体業界で」 ご活用いただくための展示を開催する予定にしております。 ますます高精度が求められる半導体業界で、シャフトモーターの 活用機会はますます広がり、装置の高精度化、効率化に お役立ていただけると考えております。 ご多用中のところ誠に恐縮ですが、この機会にぜひ当社ブースに お立ち寄りいただきたくご案内申し上げます。 皆さまのご来場を心よりお待ち申し上げております。 【開催概要】 ■会期：2025年12月17日(水)〜19日(金) 10：00～17：00 ■会場：東京ビッグサイト ■住所：〒135-0063 東京都江東区有明3丁目11−1 ■ブース：西棟4階 W3055 ■アクセス ・りんかい線 国際展示場駅(下車 徒歩約7分) ・ゆりかもめ 東京ビッグサイト駅(下車 徒歩約3分) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
