装置の高精度化や効率化に貢献するシャフトモーターの活用事例
半導体向け高精度シャフトモーターをご紹介。 真空対応モデルや高精度XY/UVWステージ、圧力制御Zユニット、マルチスライダーなど 最新技術を一挙公開。装置の高精度化・効率化に貢献する活用アイデアをご提案します。 【紹介製品】 「シャフトモーターの基本ユニットと高精度事例」 「真空用シャフトモーター」 「高精度半導体用パラレルXYステージ」 「超高精度UVWアライメントステージ」 「圧力制御Zユニット」 「マルチ・スライダー・ドライブ」 ※詳しくは、資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
カタログ(2)
カタログをまとめてダウンロード企業情報
自社開発の製造装置に組み込んだ当社独自の次世代型の円筒型リニアモーターである「シャフトモーター」の量産メーカーとして、同製品を市場に提案してから約30年の間、高精度化、高性能化、高付加価値化を図る装置メーカー様、計測・検査機器メーカー様、加工装置メーカー様など幅広くご活用頂いて参りました。 2023年春には当社発祥の山形県最上地域に位置する本社工場の第2回工場拡張を実施し、中国大連工場と合わせ、ますますお客様のニーズにお応えできる製品開発と製造体制を整備を進めております。 あらゆる製品の高精度化、高付加価値化、多様化が進むなか、より多くの機会で「シャフトモーター」をご活用頂けばと考えております。









