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この度、当社では12月17日(水)から19日(金)まで開催されます 『SEMICON Japan2025』に出展する運びとなりました。 この展示会では、「シャフトモーターの高精度を半導体業界で」 ご活用いただくための展示を開催する予定にしております。 ますます高精度が求められる半導体業界で、シャフトモーターの 活用機会はますます広がり、装置の高精度化、効率化に お役立ていただけると考えております。 ご多用中のところ誠に恐縮ですが、この機会にぜひ当社ブースに お立ち寄りいただきたくご案内申し上げます。 皆さまのご来場を心よりお待ち申し上げております。 【開催概要】 ■会期:2025年12月17日(水)〜19日(金) 10:00~17:00 ■会場:東京ビッグサイト ■住所:〒135-0063 東京都江東区有明3丁目11−1 ■ブース:西棟4階 W3055 ■アクセス ・りんかい線 国際展示場駅(下車 徒歩約7分) ・ゆりかもめ 東京ビッグサイト駅(下車 徒歩約3分) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
半導体向け高精度シャフトモーターをご紹介。 真空対応モデルや高精度XY/UVWステージ、圧力制御Zユニット、マルチスライダーなど 最新技術を一挙公開。装置の高精度化・効率化に貢献する活用アイデアをご提案します。 【紹介製品】 「シャフトモーターの基本ユニットと高精度事例」 「真空用シャフトモーター」 「高精度半導体用パラレルXYステージ」 「超高精度UVWアライメントステージ」 「圧力制御Zユニット」 「マルチ・スライダー・ドライブ」 ※詳しくは、資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
シャフトモーターは一軸上に可動子(コイルを内蔵した可動スライダー)を複数個配置することが可能です。スライダーのマルチ駆動です。スペースがある限り、いくつでも配置は可能。 それぞれのスライダーをそれぞれのドライバーにつなげれば、各スライダーをそれぞれの動作で制御することが可能です。 [使用例] ■カメラの各スライダーに装着し、ワークの位置決めを一度に数か所で進行 ■ノルズレーザーを各スライダーに搭載し、レーザー加工を進めることで同時加工を進行 ■各スライダーをシリアルに駆動することで、工程間移送に活用
高応答性を活かした使用方法… ●1nmステップ送りが可能なシャフトモーター ●高速整定を実現した高精度ステージ ●高加減速で高速整定が可能なシャフトモーター ●軽量物(半導体チップなど)搬送に適したアルミ線(AL)ダイボンダー
■シャフトモーターは、電流値と推力の関係がリニアリティーをもって再現されるため、圧力制御に最適な特長を有しています。 ■推力の分解能も高く、ワークの特性にあったシャフトモーターをお選び頂けます。 ■ユニット構成をパラレル駆動で構成しても、この特長が活かされるため、高い設計の自由度が獲得可能です。 ■当社では、ユニットの設計から製造までご提供可能です。 ※高精度だから可能なシャフトモーターの特性をご活用ください。
『GHRシリーズ』は、効率よく推力を得られるシャフトモーター採用することで、 精密・高速リニア駆動、ロングストロークを実現した単軸ロボットです。 シンプル構造で取り付けが簡単な「GHR15」をはじめ、動力部非接触のため 低騒音な「GHR25」や「GHR35」をラインアップしております。 【特長】 ■高推力、高速、高応答、高精度 ■シンプル構造で取り付け簡単 ■動力部非接触のため低騒音、長寿命、メンテナンスフリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『SXシリーズ』は、従来モデルと比較して推力アップを図った シャフトモーターです。 1本のシャフトでマルチ駆動可能が可能な「SX060」をはじめ、 耐久性が優れている「SX080」や形状的にボールねじ機構の リプレイスがしやすい「SX100」をラインアップしております。 【SX060 特長】 ■高速動作 (タクトアップ) ■高精度位置決め (フルクローズド制御) ■圧倒的な速度安定性 ■高速整定 (ハイレスポンス) ■形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シャフトモーターの特性を活かすことで、並行する2軸を、同期させることなく、同期をしているように「同時駆動」することが可能です。 [シャフトモーターでパラレル駆動] シャフトモーター2軸+エンコーダー1式+ドライバー1台で電流を2軸へ配分することで、2軸を「同時駆動」することが可能 ※参考 [従来の同期駆動] リニアモーター2軸+エンコーダー2式+ドライバー2台で2軸を同期駆動…手間がかかる作業
シャフ内部には、磁石をN極同士、S極同士を接合した構造になっており、 接合部から強い磁力線が発生しています。 このシャフトを取り囲むコイルに電流を流すと磁界が発生し、フレミングの 左手の法則により推力が発生します。この推力によって、シャフトを固定しているとコイル(スライダー)が動き、スライダーを固定しているとシャフトが動作します。 また、従来のリニアモーターと違い、磁石の磁束を360度無駄なく 有効利用しているため、高い効率で大きな推力を生み出すだけでなく、シャフトが偏芯してもコイル(スライダー)が受ける磁力は変動しないので常に一定の推力を維持、剛性の高い直動モーターになっています。
シャフトモーターは、磁石を円筒状(シャフト)に構成したユニークな形状の コアレスリニア型モーターです。 モーターはシャフト部とコイル部に分かれ、電流を流すことによって、 コイル部が非常に高速かつ安定した速度で動作を繰り返します。 シャフト部(磁石)とコイル部は非接触で摩擦がないため、高速度、定速性、 高精度に優れ、既存のリニアモーター製品の常識では考えられなかった性能を 発揮しています。 【特長】 ■コアレスリニア型モーター ■シャフト部(磁石)とコイル部は非接触で摩擦がない ■高速度、定速性、高精度に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社では、シャフトモーター『Lシリーズ』を取り扱っております。 ラージギャップ仕様のため可動子とシャフトの隙間が広く、 ロングストロークが可能です。 耐久性が優れている「L250」をはじめ、水・油・コンタミ・粉塵などの 悪環境にも使用可能な「L320」をラインアップしております。 【特長】 ■形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい ■1本のシャフトでマルチ駆動可能 ■1台のドライバーで複数の同期パラレル駆動が可能 ■非接触型のモーターなので、耐久性が優れている (保守費用の軽減) ■水・油・コンタミ・粉塵などの悪環境にも使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『Sシリーズ』は、高速・高効率・高精度位置決めが可能な シャフトモーターです。 形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい「S040」をはじめ、 1台のドライバーで複数の同期パラレル駆動が可能な「S080」など、 多数ラインアップしています。 用途に応じて適した推力を選択いただけます。 【S040 特長】 ■高速動作(タクトアップ) ■高精度位置決め(フルクローズド制御) ■圧倒的な速度安定性 ■高速整定(ハイレスポンス) ■形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シャフトモーターの駆動には以下のデバイスとの組合せが基本セットになります… ●シャフトモーター ●コントローラ/サーボアンプ ●リニアエンコーダー ●リニアガイド
シャフトモーターSシリーズ/Lシリーズ/SXシリーズは… ●速度ブレがなく ●振動がなく ●等速で移動が可能 という特長をそなえています。 塗布装置・ディスペンサー・画像検査装置・撮像装置・レーザー装置など、等速が必要で振動を嫌う装置・測定装置にご利用頂けます。
『GHR25』は、高推力、高速、高精度、等速性、長ストロークに威力を 発揮する高性能リニア単軸ロボットです。 動力部非接触のため低騒音で長寿命、さらにメンテナンスフリー。 シンプルな構造で取付が簡単に行えます。 「シングルスライダー」と「ダブルスライダー」の2つのタイプをライン アップしています。 【特長】 ■高推力、高速、高応答、高精度、長ストローク ■シンプル構造で取り付け簡単 ■低騒音 ■長寿命 ■メンテナンスフリー ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『GHR15』は、シャフトモーターを採用した高性能リニア単軸ロボットです。 シンプルな構造で取付が簡単に行えます。 動力部非接触のため低騒音で長寿命、さらにメンテナンスフリー。 高推力、高速、高応答など、様々な特長を持ち合わせている製品です。 【特長】 ■高精度 ■長ストローク ■シンプルな構造で取り付け簡単 ■低騒音 ■長寿命 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MELSERVO-J4』は、三菱電機とコラボレーションしたシャフトモーター です。 三菱電機ならではのサーボシステムコントローラを搭載。 装置革新を実現する製品です。 【特長】 ■三菱電機とのコラボレーション製品 ■装置革新を実現 ■サーボシステムの可能性をさらに広げる ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
♦シャフトモーターをXY軸それぞれ2モーター配置、高精度の位置決めが可能 ♦摩擦がないため、摩耗による精度の劣化がない ♦XYΘすべての軸をシャフトモーターで駆動するまめ低姿勢で安定した精度を確保 ♦動作条件・負荷条件によってシャフトモーターを選定、カスタマイズ設計が可能
シャフトモーターの精度は併用するリニアエンコーダーに追従します。 エンコーダーの精度が高ければ(分解能が細かい)繰返し位置決め精度はそれにつれて向上し、 分解能が粗ければ、それにつれて繰返し位置決め精度も粗くなります。
シャフトモーターは… ■ コギングが無く(速度ムラがない)一定速度で動き等速性が良い。 ■ 繰返し位置決め精度が高く、高い精度で位置決め可能。 ■ 動作の応答性が高く、俊敏に動き素早く止まるたえ、微細なステップ送りなどが可能。 ■ 高速駆動が可能で、しかも静か。 ■ 摩擦がないため振動レス、動作しながらの撮像も可能。 ■ メンテナンスフリーで高寿命。 などの特長を備えています。 こうした高精度は… ■ シャフトに装填した磁石をコイルが360度囲む構造になっており剛性が高いこと ■ コアレス・モーターのため精度を悪化させる磁石の吸着力がない などの構造的な要因が精度を支えています。 その他必要な周辺機器は… リニアエンコーダ:エンコーダーの分解能を上げれば上げるほど、位置決め精度は高くなります。 リニアガイド:リニアガイドで支持します。 となります。 数多くのラインアップとお客様のご要望を取り入れたカスタマイズでご対応申し上げます。
シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 このXYステージは… ♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用(2台のモーターを1台のアンプと1式のエンコーダーで駆動) ♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現 ♦無駄を排除した低姿勢でシンプル構造のXYステージ ♦ご所望の負荷条件・動作条件に対応したシャフトモーターを採用、カスタマイズ対応致します