高純度 シリカガラス製品
半導体製造プロセスに不可欠な高純度シリカガラス製品
半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く 活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品 【特徴】 ○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適 ○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ ・オーバーフロー槽 薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、 12インチ対応製品を含め多様なニーズに対応 ・横型ボート ウェハーの洗浄、反応プロセスに使用される石英ボート ・縦型プロセスチューブ 半導体製造工程で最も重要な拡散などの反応プロセスで使用 12インチウェハーの登場による大口径化にも対応 ・フィン保温筒 縦型チューブ下部の断熱に使用 不透明石英を使用した製品も製造可能 ●その他、様々な製品をご用意しております。詳しくはお問合わせ下さい。
- 企業：株式会社フェローテックホールディングス
- 価格：応相談
