電子回路基板・半導体シリコンウェハ検査装置「AURCAシリーズ」
電子回路基板および半導体シリコンウェハ向けAI検査・計測ソリューション 外観検査装置「AURCAシリーズ」登場！
「AURCAシリーズ」は、従来の画像検査手法では検出困難だった欠陥への対応や歩留まりの向上など、 製造現場の課題を一挙に解決する最新検査ソリューションです。 品質改善のサイクルにぜひご活用ください！ ■特徴 ・フルカラー高速ラインスキャン ・オートフォーカス機構搭載（反りによるボケ防止） ・AI＋従来アルゴリズム統合検出（ハイブリッド検査） ・見逃し率・過剰検出率を極限まで低減 ・欠陥の自動分類・定量測定（長さ・幅・面積・位置） ・検査時間30%以上短縮（高スループット量産対応） ■検査項目例 ・RDL欠陥検査：オープン、ショート、ノッチ、金属残渣、CD変動 ・バンプ欠陥検査：表面異常、寸法偏差、欠損／位置ズレ ・TSV欠陥検査：金属・異物コンタミネーション、変形、寸法偏差 ・その他外観欠陥：エッジチッピング、接着剤残り、へこみ、異物、スクラッチ、酸化、腐食、フィルムクラック、ブライトスポット
