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シリコン検査ソリューション - 企業1社の製品一覧

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シリコンウェーハ検査へのSWIRソリューション

ウェーハでの隠れた亀裂など目立たない欠陥を抽出

可視光線照明、レンズ、カメラでウェーハでの隠れた亀裂などの欠陥を抽出することが難しい。 SWIR照明、レンズ、カメラを使ったら、この課題を解決することができます。

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