1～4 件を表示 ／ 全 4 件
真空中の動力源！装置の小型化・コストダウンに貢献
当社で取り扱う「ステッピングモーター 真空タイプ」をご紹介いたします。 半導体製造装置のスパッタリングや、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、 さまざまな用途に多数採用されており、多軸ステージの設計も可能。 真空チャンバー内にモーターを設置できるため、回転導入機などを使用せず、 装置を小型化できます。 【特長】 ■さまざまな動きを実現 ■装置の小型化・コストダウンに貢献 ■真空チャンバー内の汚染防止を考慮した設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
取付角寸法28mm！真空環境装置内で位置決め運転を行うことが可能
『PKシリーズ』は、10-5Paの真空環境下で使用できる 5相ステッピングモーターです。 当社ドライバと組み合わせ可能な5本リード線モーターで、 真空環境装置内で位置決め運転をおこなうことが可能。 また、真空環境装置で回転導入機を使用しないことにより、 装置のコンパクト化に貢献します。 【仕様(一部)】 ■取付角寸法：28mm ■基本ステップ角：0.72°/step ■静止角度誤差：±5min ■定格電流(大気圧中)：0.75 A/相 ■ベーキング温度：100℃ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
もっと使いたくなるステッピングモーターへ！性能がアップしてもお求めやすい価格
当カタログでは、5相ステッピングモーター『RKIIシリーズ』を ご紹介しております。 装置のトータルコスト削減や配線・選定、信頼性を高める性能と機能について 詳しく解説、製品ラインアップも掲載。 これまでの製品に比べて、モーターの性能、ドライバの使い勝手、機能などの 大幅な向上を実現しながら、これまでより価格を下げました。 【掲載内容(一部)】 ■装置のトータルコストを削減します ■配線も選定も簡単 ■位置決め機能内蔵タイプは、FLEX対応 ■装置の信頼性を高める性能と機能 ■ラインアップ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
取付角寸法42mmで3機種、取付角寸法60mmで2機種をラインアップ！
『PKシリーズ』は、10-4Paの真空環境下で使用できる 高トルク・低振動の5相ステッピングモーターです。 当社ドライバと組み合わせ可能な5本リード線モーターで、 真空環境下装置内での位置決めをおこなうことが可能。 取付角寸法42mmで3機種、取付角寸法60mmで2機種を ご用意しています。 【仕様(一部)】 ■基本ステップ角：0.72° ■静止角度誤差：±5min ■圧力：10-4Pa ■ベーキング温度：100℃ ■絶縁階級：H種 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
