PVAテプラ社ウェハ内部ストレス測定
非接触にてウェハ残留応力の可視化、プロセス開発・製造時の内部ストレスモニタリングに最適
TePla社製SIRDは，非破壊，非接触にて，インラインのサンプルストレスフィールドモニタリングを実現します．あるストレスを受けたサンプルは光弾性効果により複屈折を生じます．複屈折の生じたエリアに偏光された光が通過する際，この偏光状態に変化が生じます． このときのデポラリゼーションおよびトランスミッションを評価し，ストレス分布のイメージングを行います．
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
