スパッタPVD装置 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

MAGNION、FLARION、EVADシリーズ

シングル・マルチカソード対応！グローブボックスとのインテグレーションも可能

『MAGNION、FLARION、EVADシリーズ』は、卓上薄膜蒸着及び プラズマ装置です。 マグネトロンスパッタPVD装置は、シングル・マルチカソード対応。 熱蒸着装置は、有機・無機材料向け蒸発ボート・小クヌーセン・ セル(K-セル)で、グローブボックスとのインテグレーションも可能です。 【特長】 ■マグネトロンスパッタPVD装置：シングル・マルチカソード ■熱蒸着装置：有機・無機材料向け蒸発ボート・小クヌーセン・セル(K-セル) ■グローブボックスとのインテグレーションも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• Company：株式会社ハイテック・システムズ
• Price：応相談

• プラズマ表面処理装置