MAGNION、FLARION、EVADシリーズ
シングル・マルチカソード対応！グローブボックスとのインテグレーションも可能
『MAGNION、FLARION、EVADシリーズ』は、卓上薄膜蒸着及び プラズマ装置です。 マグネトロンスパッタPVD装置は、シングル・マルチカソード対応。 熱蒸着装置は、有機・無機材料向け蒸発ボート・小クヌーセン・ セル(K-セル)で、グローブボックスとのインテグレーションも可能です。 【特長】 ■マグネトロンスパッタPVD装置：シングル・マルチカソード ■熱蒸着装置：有機・無機材料向け蒸発ボート・小クヌーセン・セル(K-セル) ■グローブボックスとのインテグレーションも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ハイテック・システムズ
- 価格：応相談
