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スプレーノズル(半導体) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日： 集計期間:2025年11月12日～2025年12月09日
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スプレーノズルの製品一覧

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半導体製造分野の精密コーティング【スプレーノズル使用事例】

半導体製造分野の精密コーティング【スプレーノズル使用事例】

超微粒子（5μm）を噴霧可能。高粘度液体でも目詰まりの心配無用！部品はたった2点のみでメンテナンスが容易なスプレーノズルです

■【半導体製造分野に適したスプレーノズル：精密コーティング用途でも活躍！】 少量の液を精密に微粒化噴霧できるため、 半導体や電子部品製造工程における「スプレー塗布による薄膜形成」が可能。 スプレイコーティングは制御が簡単で、機器構成が他の塗布システムに比較してシンプル。 厚塗り～薄膜まで、ひとつのノズルで条件範囲の幅が広いところが特徴です。 ■『アトマックスノズル』が選ばれるポイント ・【独自技術・シンプルな構造】：高粘度・スラリーでも目詰まりがありません。 ・【高性能・高機能】　　　　　：超微粒子（5μm）の噴射が可能です。 ・【小型・軽量】　　　　　　　：取り付け場所や用途を選びません。 ・【優れたメンテナンス性】　　：構成部品は2点のみ。フィルターなし。 ・【優れた省エネ性能】　　　　：噴射気体の消費量を大幅に削減します。 ※スプレーノズルの特長は、下記「ＰＤＦダウンロード」よりカタログをご覧ください。

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ミラクルフォグ KEN15400

ミラクルフォグ KEN15400

主に半導体生産現場の精密加湿システムに使用される大流量の空気噴霧ノズル！

当社で取り扱う『ミラクルフォグ KEN15400』について、ご紹介いたします。 空気圧と水圧をコントロールすることにより、大量のフォグ量で微粒子を 広範囲に選択可能。 半導体工場の精密湿度制御に役立っています。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問合せください。 【概要】 ■ノズル名称：ミラクルフォグ ■型番：KEN15400 ■噴霧原理：空気噴霧 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【加工事例】吸着用ノズル

【加工事例】吸着用ノズル

一品一葉での製造も！珍しい樹脂を使用した吸着用ノズルの加工事例をご紹介

当社が製造した半導体の検査工程で使用する樹脂切削加工品を ご紹介いたします。 既存の樹脂製ノズル(導電性MCナイロン)では耐久性と強度が弱いと言う 相談があり、2種類の樹脂にて試作品を製作。 ステンレス製とまではいきませんが、加工性は良好で、 寸法精度も予想の範囲となりました。 【事例概要】 ■業界：半導体 ■素材 　・白いノズル：セミトロン ESd225(帯電防止) 　・黒いノズル：ケトロン CA30 PEEK(導電性) ■サイズ：先端径はφ3.5、中心穴はφ1.5 ■精度：一般公差 ■工程：検査工程 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 製造受託

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樹脂製ノズル【アトマックスノズル】

樹脂製ノズル【アトマックスノズル】

金属製ノズルと同等の性能を持ち、耐薬品性または、金属材質を使用できない環境でも使用可能な樹脂製ノズル

金属製ノズルと同等の性能を持ち、耐薬品性または、金属材質を使用できない環境で、 スプレー作業を行うために開発した商品です。 標準材質はPEEK（ポリエーテル・エーテル・ケトン)製・PTFE製となっております。 主な使用用途として、腐食液剤の噴射・反応装置、半導体精密コーティング､精密製品の洗浄などの環境でお使い頂いております。 ～アトマックスノズルの特徴～ ・【独自技術・シンプルな構造】高粘度・スラリーでも目詰まりがありません。 ・【高性能・高機能】超微粒子（5μm）の噴射が可能です。 ・【小型・軽量】取り付け場所や用途を選びません。 ・【優れたメンテナンス性】構成部品は2点のみ。フィルターなし。 ・【優れた省エネ性能】噴射気体の消費量を大幅に削減します。 ●樹脂製ノズルの詳しい使用例などはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

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樹脂ノズル

樹脂ノズル

高精度樹脂噴霧ノズル

中央から水を当て噴霧するノズル 高精度が必要な為、従来はSUS切削ノズルでした。 樹脂化にあたり中央芯ブレ±０．０５にて微調整 耐薬品性、耐熱性、機械的強度を考慮して PPS樹脂にて樹脂化成功しました。

  • 製造受託

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ミラクルフォグ KEN0980

ミラクルフォグ KEN0980

主に半導体生産現場の精密加湿システムに使用される空気噴霧ノズル！

当社で取り扱う『ミラクルフォグ KEN0980』について、ご紹介します。 空気圧と水圧をコントロールすることにより、フォグ量と粒子径を 広範囲に組み合わせが可能。 大手自動車メーカーで湿度をプラスマイナス1％のコントロールに 使用されています。 【概要】 ■ノズル名称：ミラクルフォグ ■型番：KEN0980 ■噴霧原理：空気噴霧 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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ふわっと塗布して塗着効率アップ！『超音波スプレーノズル』

ふわっと塗布して塗着効率アップ！『超音波スプレーノズル』

ピエゾの振動で塗布液を霧化！無加圧で飛散・跳ね返りも少ない！幅広い流量に対応

ソニア社製『超音波スプレーノズル』は、ピエゾの振動を利用して液体を振動。 きめ細かい粒子を形成し、噴霧します。 流量10mL/minから100mL/minまでの液体に幅広く対応できるほか、 液体に圧力を加えないため、飛散・跳ね返りが少ないのも特長です。 塗布液のムダがなくなり、大掛かりなブースも不要。 塗布・加湿・消毒などの用途に適しています。 【特長】 ■目詰りしにくく、作業上の安全性が高い ■液体の流量に関係なく均一に超音波霧化 ■消費電力が小さくランニングコストが安い ■ワイドスプレー型、ナロースプレー型の2種類がございます。 ★実際に試せる、デモ機の貸出も実施中です★

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小型でも目詰まりしない超微細粒子の噴射用スプレーノズル

小型でも目詰まりしない超微細粒子の噴射用スプレーノズル

【アトマックスノズルAM６型】 極めて少ない流量の液剤を微細な粒子で噴射する作業に適したスプレーノズル

アトマックスノズルAM6型は、極めて少ない流量の液剤を微細な粒子で噴射する作業に適しております。 噴射の圧縮気流量も、従来型のスプレーノズルに比較し小流量で細かな粒子を得ることができます。 主な使用用途として、半導体ウェハへ精密スプレイ・電子部品・機能部品材料の 製造過程において極少量の噴射・散布、コーティングが挙げられます。 ※詳しいスプレーノズルの詳細は、PDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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ふわっと無加圧で噴霧する『超音波スプレーノズル』シリーズ

ふわっと無加圧で噴霧する『超音波スプレーノズル』シリーズ

ピエゾの振動により加圧なしで液体を霧化させて噴霧。消費電力や液の無駄を抑えて均一な塗布が可能

ピエゾセラミックの振動により超音波がノズルに伝わり、 液体膜を振動させ、きめ細かい粒子を形成、噴霧します。 最小流量10ml/分から最大流量100ml/分の液体まで幅広く対応しており、 全流量域での粒子径がほぼ一定です。 ◆製品特徴◆ ・液体を加圧せずに少ない電力で供給できるため、省エネ ・流量に関係なく均一霧化 ・全流量域での粒子径がほぼ一定 ・目詰まりしにくく、作業上の安全性が高い ・粒子の自己速度が遅いため、塗着効率が良い ・標準仕様の最大流量は100ml/分 ・操作周波数は20～130kHz（機種により異なります） ・ザウター粒子径は11.8～42μm（機種により異なります） ◆アクセサリー◆ 空気搬送治具を使うことで、塗布された微粒子（液滴）の噴霧形状を 自由自在に変える事が可能 ◆送液ポンプ◆ シリンジポンプ等を使って送液することで、精密制御が可能 ≪注目ポイント≫ デモ機の貸出も可能ですので、お気軽にお問い合わせください。 ※※超音波洗浄装置※※ ソノシス社は超音波洗浄装置の製造、販売もしています。

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ミストノズル（細霧冷房）用ステンレス配管≪通称：イージーパイプ≫

ミストノズル（細霧冷房）用ステンレス配管≪通称：イージーパイプ≫

ミストノズル（細霧冷房ノズル）の取付が簡単、時短、耐久性ありの三拍子で登場！

ミストノズル（細霧冷房）を購入したもののチューブでの取付や位置決めがなかなか難しい… そんな問題をこのイージーパイプが解決します ≪≪最大の特長≫≫ ・ローレット仕上げの為、キャップの脱落がありません！ ・手で回すだけ! 夏場の猛暑対策、冬場の乾燥対策に大きな貢献をしています。 植物栽培、家畜場の温度や湿度管理、その対策に使用される事が多くあります。 また、農業市場のみならず工業市場（食品、半導体、製紙）での温度管理や湿度管理にも使用されています。 細霧スプレーの大きな特徴は作物や家畜、商品を濡らす事なく温度、加湿を行う事が可能となりました。 そんな大事なノズルを配管で繋ぐのに一苦労ではありませんか？ イージーパイプであれば接続も簡単！ チューブよりも丈夫で脱着も安易に出来ます。

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エッチング工程・メンテナンス省力化｜耐薬性に優れたスプレーノズル

エッチング工程・メンテナンス省力化｜耐薬性に優れたスプレーノズル

「JJRP/INJJX-Y/JJXP/BBXP」シリーズは、耐薬品スプレーノズルでエッチング品質とメンテ軽減を実現します。

「INJJX-Y」シリーズはワンタッチ着脱形の充円錐ノズルで、円形で中央が強い山形にスプレーします。噴霧圧力を変えてもスプレー形状が変化せず、抜群の安定性をもつエッチング向きのノズルです。 　同じくワンタッチ着脱ノズルとして「INVVEA」「INOVVE」シリーズがあり、いずれもノズルチップ交換が簡単で、メンテナンス時の作業時間を大幅に短縮できます。 「JJRP」シリーズはPTFE製、PVDF製があり、小噴量でも均等性に優れた充円錐スプレーパターンを維持するノズルです。 「JJXP」シリーズはPVDF製と、高温の薬液噴霧に耐える耐熱塩ビ（HTPVC）製があるノズルです。充円錐スプレーパターンで、異物通過径が大きく目詰まりしにくい設計です。 「BBXP」シリーズは120°と広範囲の円形にスプレーするノズルで、ノズル使用個数を削減しコストダウンが図れます。 「EJX」シリーズは液中噴射ノズルで、液撹拌によりエッチングを促進させます。 「SLNHK」シリーズはスリットノズルで、液流路にボルトがなくきれいな液幕を作り、エッチング液の塗布に適役です。

  • ノズル

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【Lechler】レヒラー社製細霧冷房用スプレーノズル

【Lechler】レヒラー社製細霧冷房用スプレーノズル

レヒラー社製細霧冷房用スプレーノズルは微霧（超微霧）噴霧で効果的　

レヒラー社製スプレーノズル（型番：2MNシリーズ）は細霧冷房専用スプレーノズルです。 夏場の猛暑対策、冬場の乾燥対策に大きな貢献をしています。 植物栽培、家畜場の温度や湿度管理、その対策に使用される事が多くあります。 また、農業市場のみならず工業市場（食品、半導体、製紙）での温度管理や湿度管理にも使用されています。 細霧スプレーの大きな特徴は作物や家畜、商品を濡らす事なく温度、加湿を行う事が可能となりました。

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《ソノシス》超音波スプレーノズル

《ソノシス》超音波スプレーノズル

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

水や薬剤などの液体を、まるで霧のように細かく噴霧できる装置をご存じですか？ SONOSYS（ソノシス）の超音波アトマイザーは、従来の圧縮空気式ノズルとは異なり、「超音波の力」で液体を繊細なミスト状に変えることができます。 SONOSYSの超音波アトマイザーは、次のような幅広い用途に対応しています： 製品や原材料の加湿（乾燥防止） 液体のガス置換や脱気 離型剤（型から製品をはがしやすくする液）の噴霧 混合・撹拌工程中の液体添加 消毒液の噴霧 ポイントは「空気を使わずに霧を作る」 従来の噴霧ノズルは、圧縮空気が必要だったため「音がうるさい」「エネルギーコストが高い」といった問題がありました。 しかし、超音波アトマイザーは空気を使わず、静かで省エネ。 しかも粒子が非常に細かいため、均一な加湿や噴霧が可能です。 最後に 「水や薬剤を静かに、均一にミスト化したい」「限られたスペースでも使いたい」そんなニーズをお持ちの方に、超音波アトマイザーは最適です。 工場、医療、研究、農業、様々な分野での活用が進んでいます。

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  • ノズル
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  • 超音波発振器

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スプレイ塗布による薄膜形成が可能なスプレーノズル

スプレイ塗布による薄膜形成が可能なスプレーノズル

少量の液を精密に微粒化噴霧でき、厚塗り～薄膜まで、ひとつのノズルで条件範囲を幅広く対応

■【半導体製造分野：精密コーティング用途でも活躍！】 少量の液を精密に微粒化噴霧できるため、 半導体や電子部品製造工程における「スプレイ塗布による薄膜形成」が可能。 スプレイコーティングは制御が簡単で、機器構成が他の塗布システムに比較してシンプル。 厚塗り～薄膜まで、ひとつのノズルで条件範囲の幅が広いところが特徴です。 ■『アトマックスノズル』が選ばれるポイント ・【独自技術・シンプルな構造】：高粘度・スラリーでも目詰まりがありません。 ・【高性能・高機能】　　　　　：超微粒子（5μm）の噴射が可能です。 ・【小型・軽量】　　　　　　　：取り付け場所や用途を選びません。 ・【優れたメンテナンス性】　　：構成部品は2点のみ。フィルターなし。 ・【優れた省エネ性能】　　　　：噴射気体の消費量を大幅に削減します。 ※製品の特長は、下記「ＰＤＦダウンロード」よりカタログをご覧ください。

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超微粒子ミストノズル【省エネ水噴霧加湿システム】

超微粒子ミストノズル【省エネ水噴霧加湿システム】

室内を濡らさずに加湿　加湿にかかるCO2排出量は蒸気式に比べて20分の1以下

【システムの特徴】 1. 優れた省エネ効果 クリーンルームの発熱を利用して、ミストをクリーンルーム内で直接気化(加湿)することで、外調機での蒸気加湿を低減でき、さらにミストの気化冷却により冷凍機の消費エネルギーが低減され、二重に省エネが図れます。 2. 少ないCO2排出量 水1トンを加湿するためのCO2排出量で比較すると、蒸気式では年間160kg-CO2であるのに対し、本システムは20分の1以下の排出量となります。また加湿に伴う気化冷却により冷凍機の電力量削減が図れ、さらにCO2削減となります。 3. 優れた制御性 連続的な噴霧量を制御することが難しい高圧一流体ノズルに対し、独自に時間比例制御技術を用いて優れた制御性を確保しています。 4. ノズルからの水滴の漏洩がない 独自の技術で従来噴霧の開始・停止時に見られた、ノズルからの水滴の漏洩を防止します。 【導入実績】 半導体工場、FPD工場に既に多くの導入実績があります。(韓国S電子、S電気、L電子など) ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • その他環境機器
  • ノズル
  • 空圧機器

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