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最終更新日:2023年05月23日

株式会社アトマックス
株式会社アトマックス
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超微粒子(5μm)を噴霧可能。高粘度液体でも目詰まりの心配無用!部品はたった2点のみでメンテナンスが容易なスプレーノズルです

■【半導体製造分野に適したスプレーノズル:精密コーティング用途でも活躍!】 少量の液を精密に微粒化噴霧できるため、 半導体や電子部品製造工程における「スプレー塗布による薄膜形成」が可能。 スプレイコーティングは制御が簡単で、機器構成が他の塗布システムに比較してシンプル。 厚塗り~薄膜まで、ひとつのノズルで条件範囲の幅が広いところが特徴です。 ■『アトマックスノズル』が選ばれるポイント ・【独自技術・シンプルな構造】:高粘度・スラリーでも目詰まりがありません。 ・【高性能・高機能】     :超微粒子(5μm)の噴射が可能です。 ・【小型・軽量】       :取り付け場所や用途を選びません。 ・【優れたメンテナンス性】  :構成部品は2点のみ。フィルターなし。 ・【優れた省エネ性能】    :噴射気体の消費量を大幅に削減します。 ※スプレーノズルの特長は、下記「PDFダウンロード」よりカタログをご覧ください。

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半導体製造分野の精密コーティング【スプレーノズル使用事例】

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アトマックス株式会社は、液体の微粒化噴霧に最適な「外部混合渦流式小型精密二流体ノズル」の製造・販売を行っております。 液体を独特な高速旋回流により効率よく破砕、微粒化噴霧します。液滴径の分布も非常に良好。 ノズル内部の構造は非常にシンプルであり、また大口径なため目詰まりすることなく安定的に連続噴霧が可能。液体の微粒化を得るには微細な穴から吐出することが常とされていましたが、アトマックスノズルは非常にユニークな発想から生まれたオリジナル商品です。

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