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スプレーノズル(成膜) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

スプレーノズルの製品一覧

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コーティング【はっ水成膜加工済】セラミックノズル

微細塗布には必須! 機能性表面処理膜【はっ水成膜加工】を施したセラミックノズル メタルノズルでは出来ない先端肉薄加工!

特徴 ◆最小内径25ミクロン、ノズル先端肉厚12ミクロン。先端外径50ミクロ ン   狭ピッチ部品の隙間に材料を吐出する時に最適です。 ◆吐出時、材料の這い上がりがありません。 ◆表面処理はノズルの内側・外側に施していますのでノズル洗浄時、  材料が残ることはありません。

  • ディスペンサー
  • その他実験器具・容器
  • 接着剤
  • スプレーノズル

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【半導体成膜向け】ソニア社製超音波スプレーノズル

無加圧で微粒子を噴霧!成膜工程の品質とコストを改善!

半導体製造における成膜工程では、均一な膜厚と高品質な成膜が求められます。特に、微細な構造を持つ半導体デバイスにおいては、塗布液の粒子径や塗布の均一性が、製品の性能を大きく左右します。従来の塗布方法では、液体の飛散や無駄が多く、歩留まりの低下やコスト増につながる可能性があります。ソニア社製超音波スプレーノズルは、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハへの薬液塗布 ・薄膜形成 ・フォトレジスト塗布 【導入の効果】 ・微細な粒子径による均一な成膜 ・薬液の無駄を削減し、コストを低減 ・塗布ムラの抑制による歩留まり向上

  • バルブ
  • 超音波発振器
  • ノズル
  • スプレーノズル

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【半導体成膜向け】ソニア社製超音波スプレーノズル

無加圧で微粒子を噴霧!成膜工程の品質と効率を向上!

半導体製造における成膜工程では、均一な膜厚と高品質な成膜が求められます。特に、微細なパターン形成においては、塗布液の粒子径や塗布精度が製品の性能を大きく左右します。塗布ムラや異物の混入は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。ソニア社製超音波スプレーノズルは、ピエゾセラミックの振動により微粒子を生成し、均一な塗布を実現します。加圧不要で、飛散や液体の跳ね返りを抑制し、塗布液の無駄を削減します。設備投資とランニングコストの削減にも貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハへの薬液塗布 ・薄膜形成 ・フォトレジスト塗布 【導入の効果】 ・均一な膜厚の実現 ・塗布液の無駄を削減 ・歩留まり向上 ・設備投資とランニングコストの削減

  • バルブ
  • 超音波発振器
  • ノズル
  • スプレーノズル

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洗浄ムラのない均一洗浄で生産性向上|電子部品洗浄用スプレーノズル

精密洗浄に適した二流体ノズル、ノズル使用数を最適化する一流体ノズル、ムラのないスリットノズルでコストカット・品質向上を実現。

「VVP」シリーズは山形にスプレーする一流体扇形ノズルで、複数配列時に最も均等な流量分布になる設計です。 「INVV」シリーズも同じく山形の扇形ノズルで、ノズルのチップ部をワンタッチで本体から着脱でき、ノズルを取り付けたまま摩耗したチップが交換でき、メンテナンス時間を短縮するノズルです。 「INJJX」シリーズはワンタッチ形の充円錐ノズルで、円形に均等スプレーし単体使用に適しています。 「VVEA」シリーズは平均粒子径20~400μmの霧をスプレーする二流体扇形ノズルです。 強打力かつ薄くシャープな厚みで、対象細部まで浸透し精密洗浄を行います。 「INVVEA」シリーズはそのワンタッチ形ヘッダーで、交換時の時間を短縮します。 「SLNH-H」シリーズは一流体スリットノズルで、液幕は薄く均等分布し節水・薬液コスト削減に寄与します。 「PSN」シリーズは二流体スリットノズルで、高打力でムラなく均一にスプレーします。 ※その他のスプレーノズルも豊富にラインアップ。お見積り、特注対応など、ノズルに関するお悩みはぜひお気軽にお問合せください。電話・オンライン相談も随時受付中。

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