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汎用型 スロットルバルブ
弁体部が0-90°可変する事により 真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブ 【特徴】 ○ACXコントローラと併用する事により、半導体等のプロセスにおいて 高速応答・高再現性の真空圧力制御が得られる ○フランジの種類・大きさは各種ご用意 ○別途製作のご相談にも対応 ○最大差圧：1気圧 ○全閉モード ：１/10000F．S．コンダクタンス ○モータ：2相ステッピングモータ ○接ガス部材：SUS、テフロン、Ni等 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
1.超高圧70MPa対応スロットルチェックバルブ 2.ブロック付きは圧力補償付きフローコントロールバルブあり
・このスロットルバルブは、最高使用圧力70MPaで制御回路内の流量を制御できます。 ・構造はスリットタイプで、単純なスロットル（チェックなし）または一方向は自由流れ、他方向は制御流れを可能にするチェックバルブ付きがあります。 ・スピンドルは、二つのパッキンによってシールされており、調整時の外部リークを防止しています。
カートリッジタイプのスロットルバルブです。
スロットルバルブ タイプCAVはフローを完全にブロックすることができます。さまざまなサイズがあり、流量制御バルブのグループに属しています。これらのバルブは入口と出口の間の圧力を降下させてアキュムレータ回路のシリンダ速度や制御回路内の流量をコントロールしたり、圧力ゲージの保護機能として機能します。
配管、カートリッジタイプの小型スロットルバルブ
・スロットルバルブ タイプAVT、AVM、CAVは流れを完全にブロックすることができます。 ・これらのバルブは入口と出口の間の圧力を降下させてアキュムレータ回路のシリンダ速度や制御回路内の流量をコントロールしたり、圧力計の保護機能として使用します。
自己加熱型 スロットルバルブ
フランジ及び弁体自体にヒーターを実装。 設定温度までバルブ・弁体を加熱でき 温度勾配もなく不純物付着をなくす事を可能にした、スロットルバルブ 【特徴】 ○高速応答、高再現性の真空圧力制御が可能 ○安全設計 ○低蒸気圧材料をプロセス中での使用にも最適 ○仕様に応じて、特注品も製作可能 ○ボアサイズ：3インチOD ○バルブボディ＆弁体材質：SUS316L ○ヒーター バルブボディ：400Ｗ ／ 弁体 ：60W ○使用最高温度 ：150℃（Maｘ180℃もご用意） ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
排気流量を制御する排気絞り弁
シリンダ等にスピードコントローラを取付けるスペースがない場合、 又はシリンダ等の周辺が狭くニードルの調整が困難な場合等、 電磁弁に直接付けてシリンダのスピード調整用として使用できます。
