汎用型 スロットルバルブ
弁体部が0-90°可変する事により 真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブ 【特徴】 ○ACXコントローラと併用する事により、半導体等のプロセスにおいて 高速応答・高再現性の真空圧力制御が得られる ○フランジの種類・大きさは各種ご用意 ○別途製作のご相談にも対応 ○最大差圧：1気圧 ○全閉モード ：１/10000F．S．コンダクタンス ○モータ：2相ステッピングモータ ○接ガス部材：SUS、テフロン、Ni等 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
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基本情報
弁体部が0-90°可変する事により 真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブ 【特徴】 ○ACXコントローラと併用する事により、半導体等のプロセスにおいて 高速応答・高再現性の真空圧力制御が得られる ○フランジの種類・大きさは各種ご用意 ○別途製作のご相談にも対応 ○最大差圧：1気圧 ○全閉モード ：１/10000F．S．コンダクタンス ○モータ：2相ステッピングモータ ○接ガス部材：SUS、テフロン、Ni等 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
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