自己加熱型 スロットルバルブ
フランジ及び弁体自体にヒーターを実装。 設定温度までバルブ・弁体を加熱でき 温度勾配もなく不純物付着をなくす事を可能にした、スロットルバルブ 【特徴】 ○高速応答、高再現性の真空圧力制御が可能 ○安全設計 ○低蒸気圧材料をプロセス中での使用にも最適 ○仕様に応じて、特注品も製作可能 ○ボアサイズ：3インチOD ○バルブボディ＆弁体材質：SUS316L ○ヒーター バルブボディ：400Ｗ ／ 弁体 ：60W ○使用最高温度 ：150℃（Maｘ180℃もご用意） ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
フランジ及び弁体自体にヒーターを実装。 設定温度までバルブ・弁体を加熱でき 温度勾配もなく不純物付着をなくす事を可能にした、スロットルバルブ 【特徴】 ○高速応答、高再現性の真空圧力制御が可能 ○安全設計 ○低蒸気圧材料をプロセス中での使用にも最適 ○仕様に応じて、特注品も製作可能 ○ボアサイズ：3インチOD ○バルブボディ＆弁体材質：SUS316L ○ヒーター バルブボディ：400Ｗ ／ 弁体 ：60W ○使用最高温度 ：150℃（Maｘ180℃もご用意） ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報
-
納期
用途／実績例
詳細は、お問い合わせ下さい。
企業情報
メガトール株式会社は、半導体の装置分野・分析装置分野・真空分野において、確かな信頼をお届けします。
