汎用型 スロットルバルブ
弁体部が0-90°可変する事により 真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブ 【特徴】 ○ACXコントローラと併用する事により、半導体等のプロセスにおいて 高速応答・高再現性の真空圧力制御が得られる ○フランジの種類・大きさは各種ご用意 ○別途製作のご相談にも対応 ○最大差圧：1気圧 ○全閉モード ：１/10000F．S．コンダクタンス ○モータ：2相ステッピングモータ ○接ガス部材：SUS、テフロン、Ni等 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
弁体部が0-90°可変する事により 真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブ 【特徴】 ○ACXコントローラと併用する事により、半導体等のプロセスにおいて 高速応答・高再現性の真空圧力制御が得られる ○フランジの種類・大きさは各種ご用意 ○別途製作のご相談にも対応 ○最大差圧：1気圧 ○全閉モード ：１/10000F．S．コンダクタンス ○モータ：2相ステッピングモータ ○接ガス部材：SUS、テフロン、Ni等 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報
-
納期
用途／実績例
詳細は、お問い合わせ下さい。
企業情報
メガトール株式会社は、半導体の装置分野・分析装置分野・真空分野において、確かな信頼をお届けします。
