セミオートスクライブ装置 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

セミオートスクライブ装置『TEC-2005RM』

ハイスピード・ハイクオリティ！4インチウェハ対応のセミオートスクライブ装置

『TEC-2005RM』は、加工軸・送り軸・カメラ軸がそれぞれ独立した 4インチウェハ対応 セミオートスクライブ装置です。 バネ方式のように切り込み深さに左右されず、一定の荷重が可能になると共に エアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。 また、駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、 より精密なスクライブが可能になりました。 【特長】 ■高剛性設計・高スループット ■オートアライメント機能 ■エア制御によるツール加圧 ■リニアサーボモータの搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。