半導体製造装置用パーツ事業
微細な構造に精密な加工、高品質な部品をお届けします
株式会社ファブアシストは、半導体製造装置に不可欠な消耗パーツの 製造・販売を行っております。 エッチャー、CVD、イオン注入装置など、高い加工精度が求められる 各種装置向けに、アルミ、石英、シリコン、高融点金属、樹脂といった 多彩な素材のパーツを提供。 特にセラミックパーツに強みがあり、高純度アルミナやジルコニアを 用いた耐熱・耐食性の高い部品製作に加え、既存パーツの材質変更に よるコストダウン提案も行っています。 【特長】 ■幅広い対応素材と高精度な加工技術 ■高機能セラミックによる長寿命化とコストダウン ■プロセス環境に最適化する多彩な表面処理 ■装置の長寿命化と発塵対策をトータルにサポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:株式会社ファブアシスト
- 価格:応相談