微細な構造に精密な加工、高品質な部品をお届けします
株式会社ファブアシストは、半導体製造装置に不可欠な消耗パーツの 製造・販売を行っております。 エッチャー、CVD、イオン注入装置など、高い加工精度が求められる 各種装置向けに、アルミ、石英、シリコン、高融点金属、樹脂といった 多彩な素材のパーツを提供。 特にセラミックパーツに強みがあり、高純度アルミナやジルコニアを 用いた耐熱・耐食性の高い部品製作に加え、既存パーツの材質変更に よるコストダウン提案も行っています。 【特長】 ■幅広い対応素材と高精度な加工技術 ■高機能セラミックによる長寿命化とコストダウン ■プロセス環境に最適化する多彩な表面処理 ■装置の長寿命化と発塵対策をトータルにサポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【対応素材】 ■アルミ、ステンレス、銅などの金属 ■石英、シリコン ■各種樹脂 ■高純度アルミナ、ジルコニア、窒化アルミなどのファインセラミックス ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途/実績例
【対応装置】 ■エッチャー ■CVD ■イオン注入装置 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ(2)
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株式会社ファブアシストは、半導体メーカー様と直接取引を 行っている企業です。 2006年の創業より、様々な分野で必要とされるパーツの製造に 携わり培ってきた技術やノウハウを活かし、様々な問題解決の 提案をいたします。 品質、コスト、スピード等、お客様に適切な提案をさせていただく だけでなく、材料選定から新規開発パーツの対応も可能です。






