ホットプレートユニット
精密温調、クリーンルーム製造。次世代半導体を支えるヒーター。
マイカヒーターをアルミプレートで挟み込んだ構造のヒーターです。 クラス10、000のクリーンルーム内で製造されており、均一な温度分布を実現しています。 主に半導体製造装置内でのウエハレジスト塗布・乾燥工程に使用されています。 【材質規格】 ■材質：AL ■材質：SUS ■材質：SIC ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社サカエ 鬼石工場
- 価格：応相談
セラミックヒータ(sic) - メーカー・企業と製品の一覧
セラミックヒータの製品一覧
1～2 件を表示 ／ 全 2 件
表示件数
投げ込み式蒸気セラミックヒーター
表面温度が約1000℃の電気ヒーターよりも3倍の熱負荷密度で加熱できます
当社では、ヒーター本体の外管（接液部）を、セラミックにすることにより、 一般的なの金属では出来なかった液体への蒸気加温を可能にする 『投げ込み式蒸気セラミックヒーター』を取り扱っております。 ヒーター外管に炭化けい素（SiC）セラミックを使用。 耐酸性・耐腐食性に優れているため、塩酸・クローム酸等、 金属加熱管の使用が難しい液でも使用ができるようになりました。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■熱伝導率が高いため高効率 ■加熱する液種を選ばない ■低い温度で大きな熱量を放出 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社渡辺熱理興業
- 価格：応相談
