精密温調、クリーンルーム製造。次世代半導体を支えるヒーター。
マイカヒーターをアルミプレートで挟み込んだ構造のヒーターです。 クラス10,000のクリーンルーム内で製造されており、均一な温度分布を実現しています。 主に半導体製造装置内でのウエハレジスト塗布・乾燥工程に使用されています。 【材質規格】 ■材質：AL ■材質：SUS ■材質：SIC ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社サカエは、ヒーター機器をはじめ、医療用検査装置、 臨床検査薬などの製品を取り扱っている会社です。 「シーズヒーター」や「カートリッジヒーター 」など、種類豊富に ラインアップしております。 独自の発想力と高い技術開発力により、あらゆるニーズにお応えします。