加熱装置の製品一覧
- 分類:加熱装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!
- その他搬送機械
添加剤、洗浄剤、化学品、消臭・除菌剤類など製品企画から充填・加工・出荷までサポート!原料はあるが充填できる場所がないお悩みに
- そのほか消耗品
- 加工受託
高速昇温時の速いレスポンスが要求される赤外線ゴールドイメージ炉はもとより低速昇温炉用にも対応できるプログラム温度制御器です。
- 加熱装置
加熱炉、チャンバ、温度制御器を一体化したコンパクトな卓上型ランプ加熱装置で、50mm角試料までの熱処理を実現!
- 加熱装置
半導体製造プロセスは高密度、微細化の進展によりRTPが重要な加熱技術として注目されています。
- 加熱装置
最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉(カーボン炉、タングステンメタル炉) 小型・省スペース実験炉
- 加熱装置
- アニール炉
- 電気炉
□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□ 蒸着・スパッタ・EB蒸着・有機蒸着等ご要望によりフレキシブルに構成可能。
80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、070と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-070の上位機種。070同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着(金属/絶縁物/有機材料)、EB蒸着、RF/DC/PulseDC兼用マグネトロン式スパッタ、RIEプラズマエッチング、アニールなどの幅広い目的にも対応。 ・最大基板サイズ:Φ11inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4元 ・有機蒸着源 x 最大4元 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4元 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ(標準500℃、Max1000℃) ・*プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング *プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーいずれも設置可能
卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃! 還元雰囲気用メタル炉も製作致します。
- 加熱装置
- 電気炉
- アニール炉
□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□ 蒸着・スパッタ・EB蒸着・有機蒸着等ご要望によりフレキシブルに構成可能。
80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、070と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-070の上位機種。070同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着(金属/絶縁物/有機材料)、EB蒸着、RF/DC/PulseDC兼用マグネトロン式スパッタ、RIEプラズマエッチング、アニールなどの幅広い目的にも対応。 ・最大基板サイズ:Φ11inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4元 ・有機蒸着源 x 最大4元 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4元 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ(標準500℃、Max1000℃) ・*プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング *プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーいずれも設置可能
Φ6〜8inch超高温ウエハーアニール装置 研究開発から小規模生産まで多目的に幅広く対応するハイパフォーマンス機
- アニール炉
- 加熱装置
- 電気炉
□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□ 蒸着・スパッタ・EB蒸着・有機蒸着等ご要望によりフレキシブルに構成可能。
80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、070と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-070の上位機種。070同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着(金属/絶縁物/有機材料)、EB蒸着、RF/DC/PulseDC兼用マグネトロン式スパッタ、RIEプラズマエッチング、アニールなどの幅広い目的にも対応。 ・最大基板サイズ:Φ11inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4元 ・有機蒸着源 x 最大4元 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4元 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ(標準500℃、Max1000℃) ・*プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング *プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーいずれも設置可能
大型・高精度温度制御・排気ダンパー付!プログラム運転機能充実
- その他 オーブン・焼成機
- 加熱装置
- その他 恒温器・恒温槽
V型コントローラ搭載!均一の加熱処理を考えたサイドフローのオーブン
- その他 オーブン・焼成機
- 加熱装置
- その他 恒温器・恒温槽
加熱・冷却時間を短縮し生産効率をアップ!温度上昇・下降時間が早く、生産用途で人気
- その他 オーブン・焼成機
- 加熱装置
- 冷却装置
防汚キャスタ採用!差圧計内3色表示によりHEPAフィルタ交換時期の視認性向上
- その他 オーブン・焼成機
- 加熱装置
卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃! 還元雰囲気用メタル炉も製作致します。
- 加熱装置
- 電気炉
- その他ヒータ
◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置
OLED, OPV, OTFT等の有機薄膜蒸着用途に最適。温度応答性/安定性に優れた低温有機蒸着源、金属膜用蒸着元を採用。 難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。 PC用ソフトウエア'IntelliLink'付属:システムライブモニタ、CSVファイル保存、成膜レシピを作成登録保存。 ◉コンパクトサイズ:804(W) x 530(D) x 600(H)mm ◉重量:40kg〜70kg(装置構成による) ◉優れた基本性能 ・到達圧力 ≤5 x10-7mbar(*10-6mbar台まで最速15分) ・高性能ターボ分子ポンプ搭載 ・Φ2inchもしくはΦ4inch基板 ◉蒸着源 ・抵抗加熱式蒸着源 TE x 最大2基 ・有機蒸着源 LTE x 最大4基(抵抗加熱TEと混在の場合、2基まで) ◉7"タッチパネル ◉連続成膜 ・成膜プログラム自動制御 ・30種類のレシピ登録 ・高精度ワイドレンジ真空ゲージ ◉豊富なオプション ・基板回転 ・上下昇降 300mmストローク ・基板シャッター ・ドライポンプ(RP標準)
上部・側部の観察窓から加熱中のサンプル状態も観察可能!画像データから接触角や濡れ性の自動計算も可能に! ※デモ受付中
- 分析機器・装置
- 加熱装置
- 試験機器・装置
【高温加熱炉予算申請用カタログ】\ 開発・研究費などの予算申請に /
世界中の様々な研究機関で使用されている、米倉製作所の加熱観察装置・IRイメージ炉をラインナップしました。 ▼ラインナップ▼ 高温炉 1.加熱観察型「MHO-300-2」お持ちの顕微鏡で観察!オプションで-100℃まで冷却も 2.小型「IR-TPS」お持ちの顕微鏡で高温(1500℃)その場観察 3.超高温加熱型「IR-18SP」高温(1800℃)まで加熱 4.小型「IR-TP」各種分析を可能とした設計 5.広域高温型「IR-QP」IRシリーズでは加熱範囲が広く、高温(1700℃)まで加熱 6.広域型「IR-HP」IRシリーズでは加熱範囲が広く、平板、ウエハ、基板などの加熱に 7.広域高温型「IR-HQ」IR-QPの上位機種。高温(1800℃)まで加熱 8.大面積「IR-OP」様々な加熱条件のシュミレーションに 9.長尺大面積「IR-HP5」専用設計の長尺加熱ランプ採用 詳細は各商品ページなどでご確認ください。試験に合わせたカスタマイズのご相談も承っておりますので、お気軽にお問い合わせください。
独自のフィン形状で伝熱効率を向上!コンパクト・低価格も追求したステンレス製フィンチューブ式熱交換器!熱回収により脱炭素社会に貢献
- 加熱装置
【特集掲載】11月28日より熱交換器特集に掲載されます/境川工業株式会社
独自のフィン形状で伝熱効率を向上。コンパクト・低価格も追求。寒冷地仕様もあり 『ステンレス製フィンチューブ式熱交換器』は、耐食性・耐熱性・強度に優れており、 長寿命でメンテナンスも容易です。 また産学連携によってフィンの密着度を改良し、能力を向上させることに成功いたしました。 本熱交換器の導入によって、水質影響による銅管・鋼管の腐食や、 腐食環境下での寿命の問題を解決できたという事例もございます。また、クリーンな使用環境にも適しています。 【スペック】 ■機能:除湿・溶剤回収、腐食性ガス・水質などによる腐食対策 ■熱媒体:フラッシュ蒸気、飽和水、純水、井水、工業用水など ■エレメント素材 ・チューブ:ステンレス管(SUS304、SUS316、SUS316L) ・フィン :ステンレスフィン(SUS304、SUS316、SUS316L) その他材質は要相談 この度、境川工業株式会社の『新形状フィンを採用したステンレス高効率熱交換器』 が、 近畿経済産業局の『関西ものづくり新選2021』の環境・エネルギー部門に選定されました。
【水素/都市ガス専焼での兼用化に成功】高効率なリジェネラジアントチューブバーナーに水素燃焼仕様がデビュー!
- 加熱装置
- 工業炉
- セラミックヒータ
【技術進呈】その加熱方式、本当に最適ですか? 赤外線ヒーターの選び方を徹底解説
- 加熱装置
- 電気炉
- 工業炉
省エネ最大75%と省スペースを両立。高精度な温度管理と治具レス単品処理で熱履歴を確実に追い、工場自動化へ貢献します。
- 加熱装置
- 工業炉
- 電気炉
独自の熱風循環で高い炉効率と温度精度を実現。投入から排出まで自社設計で自動化、最新のビジョンシステムにも対応します。
- 工業炉
- 加熱装置
熱風温度が最大250 ℃(熱風循環可)に対応した電気式熱風発生機。ガス燃焼式からの入替もでき、脱炭素・低炭素化に貢献!
- 加熱装置
- 乾燥機器
- 電気炉