ホットプレートユニット
精密温調、クリーンルーム製造。次世代半導体を支えるヒーター。
マイカヒーターをアルミプレートで挟み込んだ構造のヒーターです。 クラス10、000のクリーンルーム内で製造されており、均一な温度分布を実現しています。 主に半導体製造装置内でのウエハレジスト塗布・乾燥工程に使用されています。 【材質規格】 ■材質:AL ■材質:SUS ■材質:SIC ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社サカエ 鬼石工場
- 価格:応相談
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精密温調、クリーンルーム製造。次世代半導体を支えるヒーター。
マイカヒーターをアルミプレートで挟み込んだ構造のヒーターです。 クラス10、000のクリーンルーム内で製造されており、均一な温度分布を実現しています。 主に半導体製造装置内でのウエハレジスト塗布・乾燥工程に使用されています。 【材質規格】 ■材質:AL ■材質:SUS ■材質:SIC ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
液送時の凝固を防止!保温が簡単に!
ホースとヒーターが一体になっており、流体の凝固や凍結の防止、保温や加熱が簡単にできます。 保温層を設けているため、省エネで表面温度にも留意した設計ができます。 アダプター付きの「ホットホース」、チューブエンドの「ホットチューブ」が選択できます。 防爆環境でもご使用いただける、電気を使用しない冷温水循環型温調ホースも製作できます。 MAX400℃まで対応可能です。