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超清浄・コンパクトケミカルポンプ/ダイアフラムポンプ MAXIM PUMPS
半導体産業で使用されている腐食性のある薬品や高清浄な薬品に最適な エア駆動ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○180℃までの薬液を毎分50リットルで循環および移送ができる ○小型で大吐出量 ○PTFE/PFAダイアフラム ○金属部品およびエラストマーＯリングは一切使用していない ○エンスト防止シャトルバルブ ○コントローラ不要 ○2億サイクルの長寿命 ○現場でのメンテナンスが可能（検査も容易） ○低価格・短納期 ●その他機能や詳細は、カタログダウンロード下さい。
超清浄・コンパクトケミカルポンプ/ダイアフラムポンプ
高い評価を得ているマグナム610を技術的に進化させた 高清浄ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○110℃までの薬液を毎分41リットルで循環および移送ができる ○セラミック製シャトルバルブ、調節可能なマフラー、ねじ式ヘッド、 フレックスが発生しないＰＴＦＥダイアフラム等を採用 ○金属部品およびエラストマーＯリングは一切使用していない ○現場でのメンテナンスが可能 ○低価格・短納期 ○クリーンルーム（クラス1000）での組立て、テスト、梱包 ●その他機能や詳細は、カタログダウンロード下さい。
超清浄・コンパクトケミカルポンプ（中流量用）/ダイアフラムポンプ
110度までの薬液を毎分36リットル排出できるダイアフラムポンプ 【特徴】 ○最高使用温度：100℃ ○最大吐出圧力：0.41MPa ○最大吐出量：36L ○2重のPFAダイアフラム ○接液部はPTFE/PFA ○メンテナンスコスト減少（メンテナンス期間の長期化を実現） ○長寿命ダイアフラム ○クリーンルームでの組立て、テスト、梱包 ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。
超清浄・コンパクトケミカルポンプ（低流量用）/ダイアフラムポンプ
高純度薬液を低流量で吐出する使用で高い実績と信頼！ 100℃までの薬液を毎分20リットル吐出できるエア駆動ダイヤフラムポンプ 【特徴】 ○調節可能なマフラーは高背圧/低流量でも安定した運転を実現 ○最高使用温度：100℃ ○最大吐出圧力：0.41MPa ○最大吐出量：20L ○2重のPFAダイアフラム ○接液部はPTFE/PFA ○長寿命ダイアフラム ○静かな作動 ○エアまたは窒素による安全運転 ○クイックリリースベースによる簡単な取り付け ○クリーンルームでの組立て、テスト、梱包 ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。
