ダイアフラムポンプ
ダイアフラムポンプ
【概要】 DP-Fi/□/Rシリーズは、特殊ラバーサスシールの反発を利用して樹脂の温度変化等によるタイロッドの緩みを軽減し、ワンピースダイアフラム・樹脂センターロッドなどノンメタル化を実現しました。さらに液剤出入り口をインサイドにすることでマニフォールドが必要なくなり、その分コンパクトになり薬液供給システムや薬液循環装置に最適です。また、バルブやシート、切替部などケーシングを分解せずに消耗品の取替えができます。(CMPスラリーには使用できません) ★詳細は、資料をご請求下さい★
- 企業:株式会社ヤマダコーポレーション
- 価格:応相談