Ra悪化・研磨レート変化の原因を解説『DP付修正キャリア』
ドレス後のPAD粗れは不具合ではなく最適状態のサインかもしれません。条件に応じたPAD制御を実現します。
ドレス後にPADが粗れ、研磨レートは向上したもののRaが悪化する。この現象は不具合ではなく、ダイヤモンド砥粒が適切に作用し、PAD表面が開いている状態の可能性があります。 DP付修正キャリアは、様々な番手のダイヤモンドペレットをラインアップし、加工条件や要求品質に応じた選定が可能。さらにダイヤの飛び出し量を最適化することで、レートと面粗さのバランスをコントロールします。 また、無料で1ヶ月貸出を実施中。実機環境で最適なドレス条件やPAD状態をご確認いただけます。
- 企業:八千代マイクロサイエンス 株式会社
- 価格:応相談